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測試服務(wù)

測試服務(wù)

Testing service

SEM（掃描電子顯微鏡）
設(shè)備描述：
此設(shè)備為緊湊型場發(fā)射掃描電鏡，成像分辨率優(yōu)于10nm。低加速電壓成像，有效減少電荷累積，非導(dǎo)電樣品，無須噴金噴碳處理，便可直接進(jìn)行觀察。
工藝能力：
?  電子槍：場發(fā)射電子源
?  加速電壓：0.5 to 2 kV
?  束流：0.2 to 1 nA 
?  分辨率：<10 nm （@1kV）
?  放大倍數(shù)：250 to 130,000x  (2048×2048pixels) 
?  樣品尺寸：最大 100×60 mm
?  樣品高度：最大 30 mm


金屬氣密封裝的優(yōu)勢與不足詳解
金屬氣密封裝的優(yōu)勢與不足詳解

2025-06-02

在芯片封裝領(lǐng)域，當(dāng)我們在討論7nm制程、Chiplet架構(gòu)時，很少有人注意到這個看似"古老"的封裝技術(shù)仍在軍用航天、汽車電子等領(lǐng)域發(fā)揮著不可替代的作用...

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為什么深硅刻蝕中C4F8能起到鈍化作用？
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2024-11-27

RIE是一種結(jié)合了物理濺射和化學(xué)反應(yīng)雙重機制的刻蝕技術(shù)。在等離子體中，離子和中性自由基共同作用于材料表面。其中，自由基的密度遠(yuǎn)高于離子，它們通...

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【半導(dǎo)體材料】電子封裝材料有哪些？
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2024-11-29

電子封裝材料作為連接芯片與外部世界的橋梁，其重要性不言而喻。合格的封裝不僅能夠為芯片提供物理保護(hù)，實現(xiàn)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格化的互連，更是確保電子產(chǎn)品性能...

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【MEMS工藝】三種常見CVD技術(shù)，你知道的有哪些？
【MEMS工藝】三種常見CVD技術(shù)，你知道的有哪些？

2024-11-04

本文將詳細(xì)介紹目前三種常見的CVD技術(shù)——低壓化學(xué)氣相沉積（LPCVD）、等離子體增強化學(xué)氣相沉積（PECVD）以及高密度等離子體化學(xué)氣相沉...

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